橢圓偏振測厚儀 型號:TPY-1
儀器介紹
采用消光法手動調(diào)節(jié),自動測量薄膜厚度和折射率,精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器軟件具有生成表、查表以及精確計算等功能,方便用戶使用。
規(guī)格參數(shù)
測量范圍薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10
測量厚度小示值(nm)≤1
偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚精度(nm)±1
折射率重復(fù)性精度±0.01
入射角調(diào)節(jié)范圍20°~90°精度為0.05°
入射光波長(nm)632.8
光學(xué)中心高(mm)80
允許樣品尺寸(mm)φ10-φ140,厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*290
主機重量(kg)25
型號 | 名稱 | 數(shù)量 | |
基本配置 | TPY-1 | 橢圓偏振測厚儀主機 | 1臺 |
TPY-1 | 主機電控箱 | 1套 | |
二氧化硅膜樣片 | 1片 | ||
TPY-1 | 橢圓偏振測厚儀軟件 | 1套 | |
需另配 | 計算機及打印機 | 1套 |